Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Dr. rer. nat. Günter Schumicki, Dr.-Ing. Peter Seegebrecht (auth.)
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
კატეგორია:
წელი:
1991
გამოცემა:
1
გამომცემლობა:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
ენა:
german
გვერდები:
500
ISBN 10:
3662095408
ISBN 13:
9783662095409
სერია:
Mikroelektronik
ფაილი:
PDF, 25.24 MB
IPFS:
,
german, 1991